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高精度：多重軟件分析法，多種應(yīng)用模式，高精度運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)；高效率：一臺(tái)維修工作站確認(rèn)多臺(tái)在線機(jī)的檢測(cè)數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化制程管控；

產(chǎn)品應(yīng)用功能特點(diǎn) 性能參數(shù)

高精度
多重軟件分析法，多種應(yīng)用模式，高精度運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)；

高效率
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