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ALE/ALE-D

高精度:多重軟件分析法，多種應(yīng)用模式，高精度運(yùn)動系統(tǒng); 高效率:一臺維修工作站確認(rèn)多臺在線機(jī)的檢測數(shù)據(jù)，實現(xiàn)全自動化制程管控;
ALI/ALID

高精度：多重軟件分析法，多種應(yīng)用模式，高精度運(yùn)動系統(tǒng)；高效率：一臺維修工作站確認(rèn)多臺在線機(jī)的檢測數(shù)據(jù)，實現(xiàn)全自動化制程管控；
A-DF

高精度：多重軟件分析法，多種應(yīng)用模式，高精度運(yùn)動系統(tǒng)；高效率：一臺維修工作站確認(rèn)多臺在線機(jī)的檢測數(shù)據(jù)，實現(xiàn)全自動化制程管控；

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